447 完美的闭环（1 / 1）

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等林本建出来，三人边吃边聊，卫向东正式向林本建发出邀请，希望他到大陆继续研究紫外光（ev）光刻，将来在众芯科技专门成立一个部门由他负责，同样可以给予众芯科技的股份。

“林先生，如果你还有什么要求，我们都可以谈。”卫向东的态度很诚恳。

林本建沉默了下开口道：“卫先生，或许你不清楚，研发34纳米的极紫外光（ev）遥不可及而且耗费巨大，现在光刻还卡在93纳米这个这个阶段。”

“我知道，极紫外光（ev）是光刻发展的未来，而93纳米这道坎终将会被迈过。”卫向东笑回答道。

林本建听了笑了起来：“卫先生，你是个局外人，竟然比我们这些局内人还充满自信？”

“或许正是因为我是个局外人，所以和你看问题角度不同，光刻停留在93纳米已经好几年了吧？所谓厚积薄发该到突破的时候。不是有一种叫什么浸润式光刻吗？我看那个法子就行。”卫向东道。

“浸润式光刻？卫先生你也认为浸润式可行？！”林本建的声音突然变得激动起来。

不是我认为行，是因为历史最后证明这个法子行！

卫向东实在不明白这个林本建为何如此激动，旁边的张如京才告诉他，在0年代末期，林本建就提出随着芯片精度越来越高，光刻的精度最终会遇到瓶颈，可以用浸润式原理解决这个问题。

不过当时业界正要准备000纳米的量产，后来林本建又帮b解决两个世代以后的技术，也就是500纳米；那时还有很多方法可用，不需要浸润式这种颇为复杂的办法。

直到九十年代初期，光刻的研发卡到了93纳米，包括b、佳能等大型公司，都是朝着研发干式5n光刻的道路奋力前进，根本没有理睬到林本建的这个冷门的浸润式！这让他很是沮丧。

所以，今天从一个外行嘴里出看好浸润时，林本建感到有些激动。

“卫先生，你怎么认为浸润式办法可行，如何液体穿透率不高问题？”

面对林本建急切的发问，卫向东愣住了。

我懂个屁啊

我只不过是穿越前在上无聊时候看过一些这样的文章，知道几个术语而已何况又过去了这么多年？

哎

早知道做做功课，在上查查这方面的资料就好了，这不又到了2000年吗？已经有了。

卫向东心里暗暗后悔。

看到卫向东略微尴尬的表情，林本建这才意识到，对方只是个企业家，科技方面纯粹就是个门外汉！”

没准这个浸润式也不知道从哪里看到的资料，觉得好玩而已。

林本建顿时有些失望，刚准备结束这个话题，突然又听到卫向东蹦出一句话：“可以用水呀水不是很透明吗？”

“用水？水在93纳米波长的折射率是得到46，但问题在于5纳米波长下水的折射率是量不出来的，因为不透光”林本建立刻反驳。

“为啥非要用5纳米？那就用93纳米下的折光呗。”卫向东心翼翼回答道。

“你不懂，现在的主流是5纳米”林本建随口回答了一句。

“林先生，你忽略了一点，水的折射率在一般的波长是3多。所以在一般波长下用水做浸润式的介质只能改进30%多，但若改成现在可用的最短波长93纳米，46的折射率特性，水能把解析度增加46％，”

张如京突然插话进来，他是搞芯片制造的，当然对光刻熟悉的再也不能熟悉，现在听到两人的对话，心里顿时有了启发，插话进来。

“嗯？”

张如京的话，让林本建一愣，思索了一阵突然叫道：“对呀我干嘛学他们一样死攻5纳米？”

“5纳米只比93纳米短23％，换句话，只能把解析度提高23％，用93纳米加水可以提高46％，几乎是两倍。因为波长只在水中变短为32纳米。光在进入水前的波长是93纳米，可以避开所有5纳米的困难，能改进46％！”

林本建越越兴奋，猛然站了起来：“两位失陪了，我现在要去公司验证我的想法！”完匆匆走了出去。

呵？

“卫先生，搞科研都是这样的怪人，你不必在意。”张如京笑着解释道：“我也跟着过去看看，没准能帮上他的忙。”

“怎么会呢”卫向东笑道：“张总，那我就不打搅你，林工的事，那就多靠你费心了。”

“放心吧你来这一趟点醒了他，咱们的把握就更大。”张如京着也匆匆走了出去。

看着两人消失的背影，卫向东这次长长舒了口气，开始大口大口啃起汉堡包。

嗯味道不错嘛。

这一刻他突然感到这平时最难吃的快餐竟然很香。

还有外面的景色也很迷人嘛

两个月后，林本建关掉自己的在坦帕市的公司，告别妻子独自踏上回国的道路。

卫向东立刻任命他为众芯科技光刻研发中心主任，注资三个亿，并且承诺将原属于卫曹控股在众芯科技股份里拨让3%给他，并担任众芯科技的董事。

为此，在有名的外滩华尔道夫酒店摆了一桌给林本建接风洗尘，陪同的除了张如京和众芯科技的技术骨干，还有联海微电子的倪光南、弗拉基米、唐俊。

大家都搞芯片的虽然侧重点不同，但还是很谈得来，一个个谈笑风生着各种卫向东听不懂的术语。

唐俊虽然也是搞技术出身，但现在主要是从事行政管理，和这帮技术大佬相比显得有些逊色，刚好和卫向东窃窃私语。

“卫董，你这一招厉害呀，你看看，联海研发p芯片，而众芯制造芯片，而林工研发制造芯片的光刻，完美的闭环啊，来，我敬你一杯！”

听到唐俊略带奉承的话，卫向东也没客气举起酒杯。

唐俊喝完酒继续道：“不过，你这一招，估计又有人难受了。呵呵”

“你的是章中谋吧？”卫向东微微一笑。